第一章　原子级制造行业相关概述
1.1　原子级制造定义与特征
1.1.1　原子级制造的基本概念
1.1.2　原子级制造的技术特点
1.2　原子级制造的发展背景
1.2.1　制造技术发展历程
1.2.2　原子级制造的重要性
第二章　原子级制造的国外发展状况
2.1　国外原子级制造发展状况
2.1.1　国外原子级制造市场格局
2.1.2　国外原子级制造的技术进展
2.1.3　国外原子级制造的技术动态
2.2　德国原子级制造发展现状
2.2.1　单原子晶体管研发进展
2.2.2　集成电路器件研发
2.3　日本原子级制造发展现状
2.3.1　皮米制造理念及发展
2.3.2　光学元件表面加工新技术
2.4　美国原子级制造发展现状
2.4.1　原子级制造技术突破
2.4.2　原子级芯片技术突破
2.5　俄罗斯原子级制造发展现状
2.5.1　相邻金属基底上全原子线研究
2.5.2　原子级磁导线寿命预测
2.6　其他国家原子级制造发展现状
第三章　原子级制造的国内发展状况
3.1　国内原子级制造政策环境
3.1.1　原子级制造政策发布历程
3.1.2　原子级制造揭榜任务规划
3.1.3　原子级制造资金补助规划
3.2　国内原子级制造市场现状
3.2.1　原子级制造发展历程
3.2.2　原子级制造发展态势
3.2.3　原子级制造发展热点
3.2.4　原子级制造企业布局
3.3　国内原子级制造应用实践
3.3.1　集成电路与芯片制造
3.3.2　光学元件与精密仪器
3.3.3　新能源与环保技术
3.4　国内原子级制造面临的挑战
3.4.1　技术瓶颈与依赖进口
3.4.2　科学原理与技术控制
3.4.3　成本与规模化难题
3.4.4　基础设施与装备
第四章　原子级制造的技术现状与发展趋势
4.1　原子级制造专利申请分析
4.1.1　专利申请规模变化
4.1.2　专利申请类型分布
4.1.3　专利申请区域分布
4.1.4　专利申请人分析
4.2　原子级制造研究情况分析
4.2.1　原子层制造研究进展
4.2.2　原子/分子团簇与器件制造研究进展
4.2.3　原子级制造测量与表征研究进展
4.2.4　原子级制造研究突破
4.3　原子级制造关键技术分析
4.3.1　原子层沉积技术
4.3.2　原子层刻蚀技术
4.3.3　原子级精密定位技术
4.3.4　原子级抛光技术
4.4　原子级制造技术发展趋势
4.4.1　兼具精准性和可批量性的原子制造
4.4.2　原子制造的机理探究
4.4.3　原子制造新材料
4.4.4　原子制造新器件
4.4.5　走向工业化应用
4.4.6　智能原子制造
第五章　原子级制造上下游产业链状况
5.1　上游材料与设备
5.1.1　上游材料
5.1.2　设备依赖
5.2　中游制造与检测
5.2.1　制造工艺
5.2.2　检测技术
5.3　下游应用与市场
5.3.1　半导体领域
5.3.2　其他应用领域
第六章　原子级制造重点区域发展状况
6.1　江苏省原子级制造发展状况
6.1.1　江苏省原子级制造发展基础
6.1.2　南京市原子级制造发展历程
6.1.3　南京市原子级制造研究情况
6.2　浙江省原子级制造发展状况
6.2.1　浙江大学原子精度制造平台
6.2.2　其他研究机构与高校
6.3　陕西省原子级制造发展状况
6.3.1　陕西先进制造业重点产业链布局
6.3.2　陕西省原子级制造新赛道布局
6.4　其他省份与城市发展状况
6.4.1　上海市
6.4.2　北京市
6.4.3　广东省
6.4.4　其他
第七章　原子级制造重点企业发展状况
7.1　华为战略研究院
7.1.1　企业发展概况
7.1.2　原子级制造研发突破
7.1.3　原子级制造研发应用
7.1.4　未来发展规划
7.2　微导纳米
7.2.1　企业发展概况
7.2.2　经营效益分析
7.2.3　业务经营分析
7.2.4　财务状况分析
7.2.5　核心竞争力分析
7.2.6　原子级制造布局
7.2.7　公司发展战略
7.2.8　未来前景展望
7.3　中微公司
7.3.1　企业发展概况
7.3.2　经营效益分析
7.3.3　业务经营分析
7.3.4　财务状况分析
7.3.5　核心竞争力分析
7.3.6　原子级制造布局
7.3.7　公司发展战略
7.3.8　未来前景展望
7.4　北方华创
7.4.1　企业发展概况
7.4.2　经营效益分析
7.4.3　业务经营分析
7.4.4　财务状况分析
7.4.5　核心竞争力分析
7.4.6　原子级制造布局
7.4.7　公司发展风险
7.4.8　未来前景展望
第八章　原子级制造未来发展趋势前景
8.1　行业发展前景
8.1.1　行业发展机遇
8.1.2　未来发展目标
8.1.3　未来研究重点
8.2　技术创新方向
8.2.1　基于化学法的原子制造
8.2.2　人工智能与原子制造的融合
第九章　原子级制造未来发展建议
9.1　政策建议
9.1.1　加强政策引导与支持
9.1.2　完善法律法规体系
9.2　技术研发建议
9.2.1　加大研发投入
9.2.2　培育交叉复合型人才
9.3　产业链协同建议
9.3.1　促进上下游协同发展
9.3.2　构建高水平产业链

图表1　制造正逐渐迈入“原子级制造”新时代
图表2　2024年度原子级制造十大重大事件
图表3　中国重点原子级制造企业分析
图表4　中国重点原子级制造企业分析（续）
图表5　2019-2025年全球范围内原子级制造技术相关专利申请数量变化
图表6　截至2025年全球范围内原子级制造技术相关专利类型分布
图表7　截至2025年全球范围内原子级制造技术相关专利区域分布
图表8　截至2025年全球范围内原子级制造技术相关专利申请人分析
图表9　先进芯片制造工艺中的原子层制造技术
图表10　极紫外光刻物镜要求全频段原子级表面精度制造
图表11　原子/分子团簇器件制造的发展现状、挑战与趋势
图表12　团簇构筑的微纳功能图形
图表13　超快观测及动态表征发展现状
图表14　催化剂合成及二氧化碳加氢制甲醇的过程示意图
图表15　ln2O3上Ir1Pd1双原子催化CO2加氢的反应机理研究
图表16　测定Ir-Pd双原子距离的光电模型
图表17　CO2加氢制甲醇的催化反应性能
图表18　等离子体诱发原子尺度重构（PEAR）加工半导体氧化物材料示意图
图表19　多种半导体氧化物材料的等离子体诱发原子尺度重构（PEAR）加工结果
图表20　等离子体诱发原子尺度重构（PEAR）技术的突出特点及应用前景
图表21　原子层刻蚀技术对比
图表22　2022-2025年江苏微导纳米科技股份有限公司总资产及净资产规模
图表23　2022-2025年江苏微导纳米科技股份有限公司营业收入及增速
图表24　2022-2025年江苏微导纳米科技股份有限公司净利润及增速
图表25　2024年江苏微导纳米科技股份有限公司主营业务分行业、产品、地区、销售模式
图表26　2024-2025年江苏微导纳米科技股份有限公司营业收入情况
图表27　2022-2025年江苏微导纳米科技股份有限公司营业利润及营业利润率
图表28　2022-2025年江苏微导纳米科技股份有限公司净资产收益率
图表29　2022-2025年江苏微导纳米科技股份有限公司短期偿债能力指标
图表30　2022-2025年江苏微导纳米科技股份有限公司资产负债率水平
图表31　2022-2025年江苏微导纳米科技股份有限公司运营能力指标
图表32　2022-2025年中微半导体设备（上海）股份有限公司总资产及净资产规模
图表33　2022-2025年中微半导体设备（上海）股份有限公司营业收入及增速
图表34　2022-2025年中微半导体设备（上海）股份有限公司净利润及增速
图表35　2024年中微半导体设备（上海）股份有限公司主营业务分行业、产品、地区、销售模式
图表36　2024-2025年中微半导体设备（上海）股份有限公司营业收入情况
图表37　2022-2025年中微半导体设备（上海）股份有限公司营业利润及营业利润率
图表38　2022-2025年中微半导体设备（上海）股份有限公司净资产收益率
图表39　2022-2025年中微半导体设备（上海）股份有限公司短期偿债能力指标
图表40　2022-2025年中微半导体设备（上海）股份有限公司资产负债率水平
图表41　2022-2025年中微半导体设备（上海）股份有限公司运营能力指标
图表42　2022-2025年北方华创科技集团股份有限公司总资产及净资产规模
图表43　2022-2025年北方华创科技集团股份有限公司营业收入及增速
图表44　2022-2025年北方华创科技集团股份有限公司净利润及增速
图表45　2023-2024年北方华创科技集团股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表46　2024-2025年北方华创科技集团股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表47　2022-2025年北方华创科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率
图表48　2022-2025年北方华创科技集团股份有限公司净资产收益率
图表49　2022-2025年北方华创科技集团股份有限公司短期偿债能力指标
图表50　2022-2025年北方华创科技集团股份有限公司资产负债率水平
图表51　2022-2025年北方华创科技集团股份有限公司运营能力指标