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第一章 薄膜沉积设备行业相关概述
1.1 半导体设备行业相关概念
1.1.1 行业基本概念
1.1.2 行业主要分类
1.1.3 投资价值占比
1.2 薄膜沉积设备行业基本介绍
1.2.1 行业基本概念
1.2.2 行业主要类别
1.2.3 设备技术对比
第二章 2023-2025年半导体设备行业发展综合分析
2.1 2023-2025年全球半导体设备行业发展状况
2.1.1 市场规模状况
2.1.2 市场区域分布
2.1.3 市场产品结构
2.1.4 企业竞争格局
2.1.5 行业投资状况
2.2 2023-2025年中国半导体设备行业发展分析
2.2.1 市场规模状况
2.2.2 国产化率情况
2.2.3 企业产品布局
2.2.4 企业营收排名
2.2.5 对外贸易状况
2.3 中国半导体设备行业上市公司财务状况
2.3.1 上市公司规模
2.3.2 上市公司分布
2.3.3 经营状况分析
2.3.4 盈利能力分析
2.3.5 营运能力分析
2.3.6 成长能力分析
2.3.7 现金流量分析
2.4 中国半导体设备行业发展展望
2.4.1 行业发展路径
2.4.2 市场需求潜力
2.4.3 行业发展前景
第三章 2023-2025年中国薄膜沉积设备行业发展环境分析
3.1 政策环境
3.1.1 行业监管主体部门
3.1.2 行业相关发展政策
3.1.3 企业税收优惠政策
3.1.4 产业投资基金支持
3.2 经济环境
3.2.1 世界经济形势分析
3.2.2 国内宏观经济概况
3.2.3 工业经济运行情况
3.2.4 固定资产投资状况
3.2.5 国内宏观经济展望
3.3 社会环境
3.3.1 数字经济发展基础
3.3.2 电子信息产业运行
3.3.3 科技研发投入状况
3.3.4 技术人才培养情况
第四章 2023-2025年薄膜沉积设备行业发展综合分析
4.1 2023-2025年全球薄膜沉积设备行业发展状况
4.1.1 全球市场规模
4.1.2 全球市场结构
4.1.3 全球竞争格局
4.2 2023-2025年中国薄膜沉积设备行业发展状况
4.2.1 国内主要厂商
4.2.2 国内中标情况
4.2.3 国产化率情况
4.2.4 国内需求分析
4.3 2023-2025年CVD设备行业发展分析
4.3.1 行业基本概念
4.3.2 产业链条结构
4.3.3 市场规模状况
4.3.4 市场结构占比
4.3.5 市场竞争格局
4.3.6 细分市场格局
4.4 2023-2025年PVD设备行业发展分析
4.4.1 行业基本概念
4.4.2 工艺类型对比
4.4.3 产业链条分析
4.4.4 行业产值规模
4.4.5 市场规模状况
4.4.6 市场区域结构
4.4.7 市场竞争格局
第五章 薄膜沉积设备行业相关技术发展分析
5.1 物理气相沉积技术发展分析
5.1.1 技术基本简介
5.1.2 技术基本分类
5.1.3 技术研究进展
5.1.4 技术应用状况
5.1.5 未来发展展望
5.2 化学气相沉积技术研究与应用进展
5.2.1 化学气相沉积技术原理
5.2.2 先进集成电路工艺应用
5.2.3 其他领域技术应用状况
5.3 原子层沉积技术发展分析
5.3.1 技术基本原理
5.3.2 技术发展优点
5.3.3 关键技术分析
5.3.4 技术应用状况
第六章 2023-2025年中国薄膜沉积设备行业相关进出口数据分析
6.1 2023-2025年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进出口数据分析
6.1.1 进出口总量数据分析
6.1.2 主要贸易国进出口情况分析
6.1.3 主要省市进出口情况分析
6.2 2023-2025年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进出口数据分析
6.2.1 进出口总量数据分析
6.2.2 主要贸易国进出口情况分析
6.2.3 主要省市进出口情况分析
6.3 2023-2025年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进出口数据分析
6.3.1 进出口总量数据分析
6.3.2 主要贸易国进出口情况分析
6.3.3 主要省市进出口情况分析
第七章 2023-2025年薄膜沉积设备主要应用领域发展综合分析
7.1 集成电路领域
7.1.1 集成电路产业销售规模
7.1.2 集成电路产量规模分析
7.1.3 集成电路产业结构分布
7.1.4 集成电路企业注册数量
7.1.5 集成电路产业贸易状况
7.1.6 薄膜沉积设备应用前景
7.2 光伏电池领域
7.2.1 光伏电池产业发展背景
7.2.2 光伏电池行业基本概述
7.2.3 光伏电池行业产量规模
7.2.4 光伏电池转换效率变化
7.2.5 光伏电池技术路线占比
7.2.6 光伏电池企业数量规模
7.2.7 薄膜沉积设备应用情况
7.2.8 薄膜沉积设备发展前景
7.3 新型显示领域
7.3.1 新型显示产业支持政策
7.3.2 新型显示主要技术对比
7.3.3 新型显示产业营业收入
7.3.4 新型显示细分市场发展
7.3.5 新型显示未来发展趋势
7.3.6 薄膜沉积设备应用前景
7.4 先进封装领域
7.4.1 先进封装产业发展背景
7.4.2 先进封装行业基本概述
7.4.3 先进封装行业发展历程
7.4.4 先进封装市场规模状况
7.4.5 先进封装行业所需设备
7.4.6 先进封装技术发展展望
7.4.7 薄膜沉积设备应用前景
第八章 2023-2025年国外薄膜沉积设备行业重点企业经营状况分析
8.1 应用材料（AMAT）
8.1.1 企业发展概况
8.1.2 沉积设备布局
8.1.3 2023年企业经营状况分析
8.1.4 2024年企业经营状况分析
8.1.5 2025年企业经营状况分析
8.2 泛林半导体（Lam）
8.2.1 企业发展概况
8.2.2 沉积设备布局
8.2.3 2023年企业经营状况分析
8.2.4 2024年企业经营状况分析
8.2.5 2025年企业经营状况分析
8.3 东京电子（TEL）
8.3.1 企业发展概况
8.3.2 沉积设备布局
8.3.3 2023年企业经营状况分析
8.3.4 2024年企业经营状况分析
8.3.5 2025年企业经营状况分析
8.4 先晶半导体（ASMI）
8.4.1 企业发展概况
8.4.2 沉积设备布局
8.4.3 2023年企业经营状况分析
8.4.4 2024年企业经营状况分析
8.4.5 2025年企业经营状况分析
第九章 2022-2025年中国薄膜沉积设备行业重点企业经营状况分析
9.1 北方华创科技集团股份有限公司
9.1.1 企业发展概况
9.1.2 企业业务状况
9.1.3 沉积设备布局
9.1.4 经营效益分析
9.1.5 业务经营分析
9.1.6 财务状况分析
9.1.7 核心竞争力分析
9.1.8 公司发展战略
9.1.9 未来前景展望
9.2 拓荆科技股份有限公司
9.2.1 企业发展概况
9.2.2 沉积设备布局
9.2.3 经营效益分析
9.2.4 业务经营分析
9.2.5 财务状况分析
9.2.6 核心竞争力分析
9.2.7 公司发展战略
9.2.8 未来前景展望
9.3 中微半导体设备（上海）股份有限公司
9.3.1 企业发展概况
9.3.2 沉积设备布局
9.3.3 经营效益分析
9.3.4 业务经营分析
9.3.5 财务状况分析
9.3.6 核心竞争力分析
9.3.7 公司发展战略
9.3.8 未来前景展望
9.4 盛美半导体设备（上海）股份有限公司
9.4.1 企业发展概况
9.4.2 沉积设备布局
9.4.3 经营效益分析
9.4.4 业务经营分析
9.4.5 财务状况分析
9.4.6 核心竞争力分析
9.4.7 公司发展战略
9.4.8 未来前景展望
9.5 江苏微导纳米科技股份有限公司
9.5.1 企业发展概况
9.5.2 主要产品情况
9.5.3 竞争优劣势分析
9.5.4 业务布局状况
9.5.5 企业发展动态
9.5.6 未来发展战略
第十章 中国薄膜沉积设备行业典型项目投资建设深度解析
10.1 高端半导体设备扩产项目
10.1.1 项目基本概况
10.1.2 项目投资必要性
10.1.3 项目投资可行性
10.1.4 项目投资概算
10.1.5 项目建设安排
10.2 先进半导体设备的技术研发与改进项目
10.2.1 项目基本概况
10.2.2 项目投资目的
10.2.3 项目投资概算
10.2.4 项目建设安排
10.2.5 项目选址情况
10.3 ALD设备研发与产业化项目
10.3.1 项目基本概况
10.3.2 项目投资目的
10.3.3 项目投资概算
10.3.4 项目建设安排
10.3.5 项目选址情况
10.4 基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目
10.4.1 项目基本概况
10.4.2 项目投资必要性
10.4.3 项目投资可行性
10.4.4 项目投资概算
10.4.5 项目进度安排
10.5 基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目
10.5.1 项目基本概况
10.5.2 项目投资目的
10.5.3 项目投资概算
10.5.4 项目进度安排
10.5.5 项目选址情况
第十一章 2025-2029年中国薄膜沉积设备行业投资分析及前景预测
11.1 中国薄膜沉积设备行业投资分析
11.1.1 行业投资机会
11.1.2 企业上市情况
11.1.3 行业投资壁垒
11.1.4 行业投资风险
11.1.5 企业投资策略
11.2 中国薄膜沉积设备行业发展前景分析
11.2.1 行业发展机遇
11.2.2 未来发展方向
11.2.3 行业发展趋势
11.3 中投顾问对2025-2029年中国薄膜沉积设备行业预测分析
11.3.1 2025-2029年中国薄膜沉积设备行业影响因素分析
11.3.2 2025-2029年全球薄膜沉积设备市场规模预测
11.3.3 2025-2029年中国CVD设备市场规模预测
薄膜沉积工艺是半导体制造中的关键工艺。半导体行业中，薄膜常用于产生导电层或绝缘层、产生减反射膜提高吸光率、临时阻挡刻蚀等作用，由于薄膜是芯片结构的功能材料层，在芯片完成制造、封测等工序后会留存在芯片中，薄膜的技术参数直接影响芯片性能。由于半导体器件的高精度，薄膜通常使用薄膜沉积工艺来实现，晶圆表面的沉积物会在晶圆表面形成一层连续密闭的薄膜。薄膜沉积设备通常用于在基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层，使之具备一定的特殊性能，广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。
近年来，随着现代工业不断发展，半导体行业整体景气度持续提升，全球半导体设备市场呈现快速增长态势，2021年半导体设备销售额成功突破千亿美元，2022年进一步扩张至1076亿美元。2023年，受全球经济下行压力加剧、终端需求下滑、贸易摩擦等多重因素的影响，半导体产业进入调整期，半导体设备销售额也随之出现下滑态势，小幅1.3%，至1063亿美元。其中中国、韩国、中国台湾三地销售额占比超7成。
中国大陆正在成为全球半导体产能第三次扩张的重要目的地。大陆晶圆代工厂中芯国际、华虹集团，中国台湾晶圆代工厂台积电、联电、晶合等晶圆厂接连在大陆扩产、建厂，带动半导体设备销售额快速增长，2023年同比增长29%达366亿元，为全球增幅最大的地区。
我国半导体薄膜沉积设备发展起步较晚，目前仅有少数企业具备量产供货能力。近年来，国内企业不断加强技术研发，涌现了北方华创、拓荆科技、中微公司、微导纳米等一批薄膜沉积设备制造商。但整体来看，薄膜沉积设备国产率仍偏低，尤其是技术门槛更高的ALD设备。
近年来，在国家政策的拉动和支持下，我国半导体产业快速发展，整体实力显著提升，设计、制造能力与国际先进水平不断缩小，半导体先进设备制造仍然相对薄弱。伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与实施，本土半导体及其设备制造业迎来了前所未有的发展契机，薄膜沉积设备作为半导体制造的核心设备，将会迎来巨大的进口替代市场空间，国产化率将不断提升。
中投产业研究院发布的《2025-2029年中国薄膜沉积设备行业深度调研及投资前景预测报告》共十一章。首先，报告介绍了薄膜沉积设备行业的相关概念、半导体设备发展情况，接着，对中国薄膜沉积设备行业发展的宏观环境以及薄膜沉积设备行业发展状况作了分析。然后报告分析了薄膜沉积设备的相关技术、进出口情况以及主要应用领域发展情况；接下来，报告对国内外重点企业经营状况进行了详细分析；随后对薄膜沉积设备行业投资进行了分析，并对薄膜沉积设备行业的发展前景进行了科学的预测。
本研究报告数据主要来自于国家统计局、工信部、半导体行业协会、中投产业研究院、中投产业研究院市场调查中心以及国内外重点刊物等渠道，数据权威、详实、丰富，同时通过专业的分析预测模型，对行业核心发展指标进行科学地预测。您或贵单位若想对薄膜沉积设备行业有个系统深入的了解、或者想投资薄膜沉积设备相关项目，本报告将是您不可或缺的重要参考工具。
